Οι ξηρές μηχανικές αντλίες κενού έχουν ένα ευρύ φάσμα εφαρμογών, κυρίως στους ακόλουθους τομείς:
Στη διαδικασία παρασκευής πολυπυριτίου σε συστήματα Χημικής Εναπόθεσης Ατμών Χαμηλής-Πίεσης (LPCVD).
Σε διαδικασίες χάραξης ημιαγωγών. Αυτές οι διαδικασίες παραγωγής συχνά περιλαμβάνουν τη χρήση ή την παραγωγή διαβρωτικών αερίων και λειαντικών σωματιδίων.
Σε ορισμένες-διαδικασίες παραγωγής σωματιδίων-εκτός της βιομηχανίας ημιαγωγών-όπου δεν είναι επιθυμητό τα σωματίδια να αναμειγνύονται με λάδι αντλίας και, αντίθετα, είναι επιθυμητό να αποβάλλονται από την αντλία. Μπορούν να χρησιμοποιηθούν ειδικοί τύποι ξηρών μηχανικών αντλιών κενού για την κάλυψη αυτών των απαιτήσεων.
Σε εργασίες απόσταξης, ξήρανσης, απαέρωσης και συσκευασίας στις χημικές, φαρμακευτικές βιομηχανίες και βιομηχανίες τροφίμων, όπου είναι απαραίτητο να αποφευχθεί η μόλυνση από οργανικούς διαλύτες, οι αντλίες ξηρού κενού είναι η κατάλληλη επιλογή.
Όπως προηγουμένως,-αντλίες (αντλίες ακατέργαστης) γενικά-καθαρά συστήματα κενού χωρίς λάδι, για την αποφυγή μόλυνσης λαδιού.
