Ο όρος "μικρή αντλία κενού" αναφέρεται συγκεκριμένα σε μια *μινιατούρα* αντλία κενού. Λόγω των συμπαγών διαστάσεων τους, οι μικροσκοπικές αντλίες κενού αναφέρονται συνήθως ως μικρές αντλίες κενού. Μια μινιατούρα αντλία κενού (δηλ. μια μικρή αντλία κενού) ορίζεται ως μια συσκευή που διαθέτει μία θύρα εισαγωγής και μία θύρα εξαγωγής, ικανή να δημιουργεί συνεχώς κενό ή αρνητική πίεση στην εισαγωγή ενώ ταυτόχρονα δημιουργεί μια ελαφρά θετική πίεση στην εξάτμιση. Το κύριο μέσο εργασίας του είναι το αέριο και χαρακτηρίζεται από το μικρότερο μέγεθός του.
Εάν ένα σφραγισμένο δοχείο (αρχικά σε τυπική ατμοσφαιρική πίεση 100 kPa) συνδεθεί σε μια μινιατούρα αντλία κενού και υποβληθεί σε συνεχή εκκένωση, η πίεση του αερίου εντός του δοχείου θα πέσει τελικά κάτω από την ατμοσφαιρική πίεση, φτάνοντας την απόλυτη πίεση των 60 kPa. Επιπλέον,-χάρη σε εξειδικευμένες τεχνικές βελτιώσεις-η τεχνολογία έχει εξελιχθεί πέρα από το απλό κενό-μόνο μοντέλα για να περιλαμβάνει μικροσκοπικές αντλίες διπλής-λειτουργίας ικανές τόσο για αναρρόφηση όσο και για άντληση (δηλαδή, η θύρα εξάτμισης μπορεί να δημιουργήσει σημαντική θετική πίεση). Αυτές οι αντλίες διπλής{10}λειτουργίας χρησιμοποιούνται για εφαρμογές όπως η συμπίεση, το φούσκωμα και η υπέρβαση της αντίστασης του συστήματος. Επιπλέον, υπάρχει ένας εξαιρετικά μοναδικός τύπος μικροσκοπικής αντλίας ικανής να χειρίζεται τόσο νερό όσο και αέριο. Σε αντίθεση με τις τυπικές αντλίες νερού-που συνήθως υφίστανται ζημιά εάν αφεθούν να λειτουργήσουν στο ρελαντί ή να στεγνώσουν-αυτή η εξειδικευμένη αντλία έχει σχεδιαστεί για να λειτουργεί αξιόπιστα σε σενάρια που απαιτούν παρατεταμένο ρελαντί ή ξηρές{14}}συνθήκες λειτουργίας.
